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微機(jī)械

見微知著，精確感知。微機(jī)械器件是具有三維特征和復(fù)雜特征的微型機(jī)械結(jié)構(gòu)裝置，尺寸以微米為單位，微傳感器是其中重要的前端部分，可用于檢測各種物理量。隨著機(jī)械工程、電子工程、材料科學(xué)等學(xué)科的綜合發(fā)展，加之微納3D打印技術(shù)的日趨完善，有助于科研人員在微機(jī)械領(lǐng)域獲得更多的突破性研究進(jìn)展。

應(yīng)用案例

CA-100A(氧化鋁)微齒輪

  • 10 μm

    光學(xué)精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    間距

CA-100A(氧化鋁)微齒輪

PμSL技術(shù)支持CA-100A(氧化鋁)陶瓷漿料打印，用于加工高精密陶瓷樣件，齒輪尖端130 μm，齒輪間距90μm

  • 10 μm

    光學(xué)精度

  • 130 μm

    尖端

  • 90 μm

    間距

3D蝴蝶結(jié)結(jié)構(gòu)陣列

  • 2 μm

    光學(xué)精度

  • 40 μm

    特征尺寸

3D蝴蝶結(jié)結(jié)構(gòu)陣列

整體尺寸5 x 5 x 0.5mm3，可覆蓋外爾半金屬薄膜，得到高靈敏度、有效探測面積大的太赫茲波探測器

  • 2 μm

    光學(xué)精度

  • 40 μm

    特征尺寸

微穹頂分級結(jié)構(gòu)

  • 2 μm

    光學(xué)精度

  • 28 μm

    最小直徑

微穹頂分級結(jié)構(gòu)

單個穹頂寬290μm，高480μm；次級微柱直徑28μm，高70μm；通過打印微穹頂分級結(jié)構(gòu)模具，結(jié)合翻模可制備柔性壓力傳感器

  • 2 μm

    光學(xué)精度

  • 28 μm

    最小直徑

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